微特云辦公系統(tǒng)
電話：15301560529
新聞
News
2022-03-26
MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工，體硅微加工，LIGA，SOI等。 1、表面微加工：一種是在硅襯底表面采用專業(yè)方法生成薄膜，并...
2022-03-15
mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫，意為微機電系統(tǒng)。 mems傳感器就是利用mems技術制造的傳感器。mems加工通常是由...
2022-03-02
MEMS代工之表面微機械加工是以硅片為基體，通過膜淀積和圖形加工制備三維微機械結(jié)構(gòu)。硅片本身不被加工，器件的結(jié)構(gòu)部分...
2022-01-12
CMOS被稱為互補金屬氧化物半導體，是IC集成電路制造工藝中的一種，使用廣泛。 MEMS中文名微電子機械系統(tǒng)，是具備獨立功能的智能系統(tǒng)...
2021-12-25
MEMS設計表面微加工指通過沉積多層薄膜和圖形制備三維微機結(jié)構(gòu)的一種加工方式。其常用的薄膜材料主要有：多晶硅，氮化硅，氧化硅， PSG（磷硅酸...
